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北科大胡石政獲國家產學大師獎:晶圓製程污染控制權威,研究無塵室30年對國內半導體產業貢獻卓著

台北科技大學講座教授胡石政今(17)日獲頒教育部國家產學大師獎,北科他投入潔淨室與高科技廠房設施研究長達30多年,大胡對國導體期間與30家廠商建立產學合作技術聯盟,石政師獎室年北科大指出,獲國他是家產晶圓國內外晶圓製程污染控制的權威,因為對提升國內半導體產業競爭力貢獻卓著,製程卓著因而得獎。污染無塵

北科大指出,控制台灣的權威半導體設備多半仰賴國外進口,但進口設備很難確切符合實際製程需求,研究他領導北科大團隊在潔淨控制領域上不斷精進研發,內半就近協助台灣當地廠商設備及服務。產業

這10年來,貢獻胡石政光是北科為北科大帶進的產學合作收入、技轉及專利衍生金等,大胡對國導體金額就高達2億元,其中最成功的產學合作案,是他和台積電合作的晶圓微小污染控制解決方案,這項專利改善了傳統晶圓載具的缺點、提升產品良率,不僅獲得英特爾、美光採用,還推進到台積電在亞利桑那州的新廠。

02北科大講座教授胡石政(前排左三)與研究團隊合影Photo Credit:北科大
北科大講座教授胡石政(前排左三)與研究團隊合影。

文章發表的多,在相關領域不怕吃虧

事實上,胡石政也可說是北科大的校友,他在15歲隨父親從台中北上,就讀北科大的前身台北工專的機械工程。後來他讀出興趣,到美國奧本大學取得機械工程碩士,回台後在工研院擔任研究員,90年代台灣半導體產業起飛時,他就於工研院投入潔淨室設計及半導體製程服務,後來胡石政前往英國利物浦大學攻讀博士,1998年回到北科大任教於能源與冷凍空調工程系。

胡石政在升上教授以後,認為「工科應該經世濟民,為什麼不把研究的點子接到市場去?」 因此投入專利開發,為企業研發並提供服務。但他也坦言自己吃過虧,曾有一家美國500大公司找律師跟他談,想盡辦法規避他的專利、要自行商品化,現在他學會鞏固專利,「專利寫得很清楚,文章發表得很多,只要在相關設備領域,一定會找到我的名字。」

產學合作需要時間磨練

北科大能源系教授施陽正與胡石政相識超過30年,他認為產學合作的成功,需要時間的磨練,而胡石政從在工研院開始,就專注於無塵室、半導體領域,一方面勤跑園區了解廠商需求,另一方面是在專業領域的耕耘吸引優秀學生、形成強大的研發團隊。

胡石政多年間指導的140多名碩博士生之中,有上百位進入高科技業擔任廠務工程師,且不只北科大學生,胡石政在校外也定期舉辦潔淨室技術短期訓練課程超過10年,培育超過2500名學員。

目前胡石政正在開發可再生利用的化學濾網,希望再生百次以上仍能擁有同樣效能,這項技術將能大幅減少廢棄物、降低碳排放。同時,也希望先前已經得到專利的微粒及氣流大面積可視化技術 ,可以發揮更大的應用價值。

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核稿編輯:翁世航


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